磁控溅射室出现漏气的情况时，应该先从哪方面入手来检查排除呢？

maconwu · 发表于 2008-12-21 16:41:06

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寻求帮助！磁控溅射室出现漏气的情况时，应该先从哪方面入手来检查排除呢？具体情况如下：现在的真空度已经在四小时内就达到2*10—5，非常反常，以前从来没这么快，而且高真空计的仪表数值不断降低很不稳定，仪表坏的可能性大吗？并且没有拆过！

dawei0312 · 发表于 2009-2-20 16:50:21

兄弟，真空系统什么配置呀？抽了多少次了？
也有可能4小时到-5的，我这镀膜线开始时4个小时就进-4了，而且面积很大！
也有可能你的仪表有问题了！！

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